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网建(b)FA→Ar/O2活化后键合界面。(b-d)混合键合实现的Cu-Cu界面TEM图像【总结与展望】本研究开发出的甲酸(FA)→Ar/O2表面协同活化方案跳出了混合表面选择性构建官能团的困境,设推基于共羟基化的策略有效将键合温度降低至200℃。
通过Cu-Cu与SiO2-SiO2直接键合来分别提供电气连接与机械支撑,进中能够有效将芯片间互连节距缩减至1μm以下。(c)(e)Ar/O2活化后键合界面及元素组成分析最终,国式利用甲酸→Ar/O2活化实现共羟基化的Cu和SiO2表面在200℃下成功完成了Cu/SiO2混合键合。降低混合键合温度的关键在于降低Cu-Cu与SiO2-SiO2两类界面的键合温度,现代但Cu-Cu低温键合需要在高真空环境下以维持表面的原子级清洁状态,现代SiO2-SiO2的低温键合则依赖于表面构建的高活性官能团(如-OH)。
本项研究工作在国家自然科学基金面上项目、字电黑龙江省自然科学基金联合引导项目和黑龙江省头雁团队的资助下完成,字电该论文入选ACS Applied Materials Interfaces期刊13卷32期的封面图片(见图7)。虽然界面处仍有少量微孔洞存在,网建但从整体数量上要低于文献中结果。
本研究成果有望应用于高密度无凸点三维互连,设推将促进新一代以内存为中心的芯片架构和类单片集成高性能器件开发。
(d)界面微孔洞元素组成EDS分析图4.表面协同活化实现的Cu-Cu界面电学稳定性测试此外,进中两类表面协同活化方案虽然都能够实现SiO2表面的羟基化,进中然而由于甲酸的引入推测发生亲电腐蚀及酯化反应在SiO2-SiO2界面中会不可避免的引入碳相关官能团(HCOO-)并造成残留,如图5所示。2个半月的狗狗能洗澡吗答案是:国式可以,但是应该在每个月的第一次洗澡之后进行一次维护性洗澡,以避免过分洗澡。
在洗澡时,现代应该尽量使用温和的洗澡用品,最好使用专为宠物用的洗澡用品,以避免对其皮肤造成伤害。另外,字电在洗澡前应该让狗狗先洗把脚,因为把脚洗干净可以减少它身上的螨虫和其他寄生虫,以减少它受到的伤害。
在洗澡时,网建应避免使用温水,因为它会使狗狗感到很不舒服。在洗澡后,设推应该立即用毛巾把它的毛发擦干,以免它的皮肤受到伤害。
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